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    EAP 设备自动化系统

    发布时间：2022-09-13    浏览人数：1人查看

    系统介绍

    MES 自动过账、机况，报警和OEE、Recipe 管理：上传和下载、Recipe 参数比对、晶圆盒 （Carrier ) 追溯、晶圆片生产追溯、生产参数追溯

    系统特点

    • 基于 PK 体系 （中国自主可控的硬件和软件）开发的 EAP 系统

    • 支援 SEMI E4/E5/E10/E37 等标准

    • 跨平台设计 ARM/X86, Linux/Windows/Mac

    • 已经在客户中进行一年以上的验证

    • 打破传统 SECS/GEM 点对点 （SECS Multiplexer) 和异步执行的设计

    • 提供 SECSServer 把非 SECS/GEM 标准设备转换成 SECS/GEM 设备 ，客户只需要专注于 SECS/GEM 开发



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